Mise en oeuvre des polymères via lithographie électronique et nanoimprint

Pierre-Olivier MOUTHUY

Université de Louvain-La-Neuve

Mon exposé présentera d'abord la technique de lithographie électronique par faisceau d'électrons (EBL), avec pour applications:

• électrodes pour la mesure d'objets mésoscopiques,
• fabrication de dispositifs électroniques,
• masques pour texturation physico-chimique.

L'utilisation particulière de la lithographie électronique pour la génération de matrices destinées à la lithographie par nano-imprint (NIL) sera expliquée en détail. Quelques exemples concrets d'utilisation de nanoimprint sur des polymères fonctionnels seront présentés.

J'insisterai finalement sur la complémentarité des techniques EBL et NIL.