Lithographie électronique : principe et application aux nanostructures magnétiques

François MONTAIGNE

Institut Jean Lamour, Nancy

Cet exposé présentera les principes généraux de la lithographie électronique en abordant successivement :

  • L'intérêt de la lithographie électronique comme méthode de nanofabrication
  • Les résines électrosensibles et leur mise en œuvre
  • Les interactions électrons/résine et les effets de proximité
  • Les différents systèmes de lithographie électronique et la mise en œuvre d'un MEB pour la lithographie

L'exposé se conclura par quelques exemples concrets de fabrication de nanostructures magnétiques.


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