L'imagerie au MEB des matériaux isolants

Raynald Gauvin
Université Mc Gill, Montréal

L'observation des matériaux isolants est un problème courant en microscopie électronique à balayage car l'accumulation de charges induit un champ électrique qui entraine une déflection des trajectoires des électrons qui mène à des images déformées des matériaux observés, voire à leur destruction par claquage électrostatique dans les cas extrêmes.
Les mécanismes d'accumulation de charges seront brièvement introduits et les différentes approches pour imager les matériaux isolants seront présentées, tant par une brève description théorique qu'avec une emphase expérimentale. Les revêtements Au-Pt ou Carbonne seront introduits, la microscopie à basse tension des électrons au voltage E2, l'emploi de liquides ioniques et la microscopie à pression variable seront discutés en détail. L'impact de ces méthodes sur l'imagerie, la microanalyse R-X et sur l'EBSD seront discutés avec de nombreux exemples. Finalement, comme l'endommagement des matériaux non conducteurs par ionisation de ses électrons de valence par les électrons incidents entraine une accumulation de charge, cet aspect sera aussi brièvement discuté car beaucoup de matériaux technologiques, comme ceux à base de Li, souffrent de ce problème critique.