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Généralités sur la préparation d'échantillons / Re : Masse limite d'un échantillon
« Dernier message par Francois le octobre 13, 2014, 11:35:33 am »
Bonjour,

Sur la doc Zeiss, il est écrit 500g.

Cdlt,
Francois brisset
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Généralités sur la préparation d'échantillons / Masse limite d'un échantillon
« Dernier message par bgros le octobre 06, 2014, 01:44:24 pm »
Bonjour,

Connaissez-vous la masse "maximum" pouvant être supportée par la platine sur un ZEISS ultra 55 (sans passer par le sas bien sûr) Nous pouvons avoir des pièces pesant plus de 500g, et la découpe est parfois laborieuse.
Si vous avez un ordre d'idée, même sur d'autres MEB...

Merci d'avance.
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Je me demande si l'éthanol ne pourrait pas être un agent contaminant dans un cas où l'on souhaite éviter le carbone à la surface de l'échantillon.
D'après mon expérience l'efficacité de l'Evactron dépend beaucoup de l'orientation de la zone à nettoyer par rapport au plasma et de sa distance à la source. Les réglages en temps et en puissance sont donc assez variables en fonction des configurations. Nous avons modifié le sas de notre JEOL 7600F pour y placer notre Evactron de manière à ne pas dégrader le vide dans la chambre lors d'opérations de nettoyage répétées (ce qui favorise les rétrodiffusions d'huile quand le système de pompage n'est pas "propre"). Cette méthode fonctionne bien dès lors que la tête plasma a été placée au ras de la paroi du sas (Le constructeur nous avait conseillé une distance de 15cm). L'adaptation de la séquence de vide dans le sas n'a posée aucun problème et le nettoyage peut se faire en même temps que le pompage dans le sas.
Concernant l'étuvage comme méthode de décontamination c'est un vieux "truc" de démonstrateur chez les fabriquants que de placer un échantillon sur la partie chauffante de la pompe à diffusion pour le décontaminer. Ca fonctionne assez bien si l'échantillon ne craint pas la chaleur et plus d'un appareil a été vendu grâce à cette méthode.
Concernant les effets sur les fenêtres minces tout les retours que j'ai pu avoir jusqu'à présent disent que la fenêtre tiendra le coup très longtemps et c'est aussi ce que j'ai entendu aux journées de formation du Gn-MEBA.
Nicolas Stephant
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Mesures, imagerie 3D / Re : étalons de calibration pour la rugosité
« Dernier message par Nicolas Stephant le septembre 23, 2014, 11:14:11 am »
Bonjour,

Vous trouverez probablement ce genre d'échantillons auprès du laboratoire national de métrologie et d'essais (www.lne.fr). Une expérience menée par le club de nanométrologie est en cours pour tester les étalonnages MEB et AFM. Un échantillon calibré a été fabriqué par le LNE à cette occasion qui comprend aussi des profondeurs et pourrait donc convenir.
Nicolas Stephant
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Nous travaillons avec un MEB FEG supra 40. Avant d'introduire les échantillons métalliques dans la chambre nous les rinçons à l'éthanol et les séchons soigneusement. Malgré tout des fenêtres de contamination (noires) se forment souvent (travail à 20Kv et fort courant pour EBSD par exemple). Nous envisageons d’acquérir une étuve et d'y mettre nos échantillons à dégazer pendant un certain temps avant de les introduire dans la chambre du MEB. Est-ce que ce protocole est déjà utilisé? Avez-vous des indications à nous apporter concernant la température idéale et le temps de maintien?
D'autre part, ce MEB est équipé d'un EVACTRON. Nous ne l'utilisons pas systématiquement pour décontaminer la chambre car nous avons un SAS. Néanmoins nous avons remarqué que lorsque nous faisons plus de 7min de plasma, la surface des échantillons est bien décontaminée (pour des temps inférieurs, peu de résultat!). avez-vous des informations sur les ajustements des paramètres du système? Est-ce que de l'utiliser systématiquement ne nuit pas aux détecteurs EDs et EBSD présents dans la chambre?
Suzanne CEMEF
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Métalliseurs / Re : Achat métalliseur Carbone
« Dernier message par Alexis le mai 21, 2014, 09:23:50 am »
Merci à vous pour le retour.

Quel modèle de métalliseur ionique utilisez-vous ? Vous avez vu de grosses différences entre les métalliseurs de ce type au moment de faire votre choix d'achat ? C'est dans quel ordre de prix ?
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Métalliseurs / Re : Achat métalliseur Carbone
« Dernier message par Francois le mai 17, 2014, 07:29:03 pm »
nous utilisons un métalliseur à crayon lorsque nous ne voulons pas avoir de mesures précises et pas de dépôts spécialement bien réalisés.
Lorsque le qualité du dépôt est "primordial" nous utilisons un métalliseur ionique. Les ions vont alors sur une cible de C qui vont eux même aors se déposer sur l'échantillon. La mesure est contrôlée soit par le système "embarqué", soit si nous avons vraiment besoin de la connaitre, par le logiciel Stratagem.
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S'il s'agit bien d'une coupe transverse de quelques microns, et comme le dit Vincent, un polissage ionique sur appareil spécialisé, pourrait être la solution. En effet, un autre polissage pourrait avoir pour conséquence d'arrondir les angles et donc de faire "disparaitre" la couche mince déposée.
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Métalliseurs / Achat métalliseur Carbone
« Dernier message par Alexis le mai 15, 2014, 09:41:26 am »
Bonjour,

Nous avons depuis une dizaine d'année un métalliseur Cressington 208 Carbon http://www.cressington.com/product_208c.html (un métalliseur à crayon et vide secondaire) qui a commencé à donner de gros signes de faiblesses et dont l'homogénéité du dépôt ainsi que l'épaisseur déposée sont variables. Malgré un nettoyage en profondeur et de nombreux essais de paramètre en partant des spécifications constructeur, la régularité du dépôt n'est pas encore satisfaisante pour ce que l'on veut faire. Il nous faudrait garantir un dépôt à 5 nm près environ.

Je suis donc en train de prospecter pour un métalliseur plus fiable. Je serai intéressé par des retours d'utilisateurs sur leur matériel (crayon ou tresse) et sa fiabilité.
De notre côté on vérifie l'épaisseur déposée par colorimétrie sur du laiton ou/et avec un logiciel type mesure de couche mince et on recherche une épaisseur autour de 15 nm de C.

Si vous avez des infos ou même des questions sur le même sujet, n'hésitez pas.
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Un polissage final par faisceaux d'ions Argon permet également d’obtenir de très bons résultats en EBSD sur tous types d'échantillons.
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