Microanalyse X et EBSD > Mesures d'épaisseurs de stratifiés, de couches minces

mesure optique de l'epaisseur de couches minces

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24-04-2006
bonjour tout le monde, je cherche la procedure de la mesure de l'épaisseur des couches minces optique
ASMAA

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Pour une mesure optique de l'epaisseur de couches minces, regardez du côté de l'ellipsométrie.
On peut mesurer la composition et l'epaisseur d'une couche par microanalyse X en utilisant les programmes de couches minces qui utilisent la fonction de repartition de l'emission X (PhiRhoZ).
(F. Grillon - ENSMP)

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