Auteur Sujet: choix pompage MEB  (Lu 5769 fois)

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choix pompage MEB
« le: mars 25, 2014, 06:57:15 am »
24-05-2008
Bonjour,
Nous allons nous équiper d'un nouveau MEB. Nous nous posons des questions sur le choix du système de pompage. Sur ce microscope, nous souhaiterions limiter au maximum la contamination dans la chambre. Selon Jéol, qui installe en standard des pompes à diffusion d'huile sur ses microscopes, les contaminations de la chambre par les huiles de pompes proviennent exclusivement de la pompe à palette et pas du tout de la pompe à diffusion. Selon Zeiss, qui installe en standard des pompes turbo-moléculaires, les pompes à diffusion d'huiles conduisent bien à une contamination de la chambre... Qui faut-il croire ? Une solution pompe primaire sèche + pompe à diffusion d'huile présente-t-elle un intérêt ?
Merci de votre aide.
Frédéric CHRISTIEN
Département Sciences des Matériaux - Polytech'Nantes - Université de Nantes

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Re : choix pompage MEB
« Réponse #1 le: mars 25, 2014, 06:57:29 am »
Il est clair que la principale source de contamination provient de l'huile des pompes à palettes, en raison de sa tension de vapeur saturante.
L'influence des pompes à diffusion d'huile dépend étroitement des fluides utilisés et de leur pression de vapeur saturante. Les huiles ayant les plus faibles valeurs sont celles dont les coûts sont les plus élevés, les fluides fomblins donnent l'impression d'être moins polluants, mais en analyse le carbone est remplacé par le fluor...
Un autre paramètre qui rentre en jeu est la qualité de la conception du groupe de vide et en particulier du baffle qui isole la pompe de la chambre.
La solution sans huile est la plus sure s'il n'y a aucun autre apport de carbone, quelque soit sa forme (et c'est très dur à tenir !).
(réponse de F. Grillon - ENSMP)