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diamètre du faisceau primaire

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18-07-2007
Bonjour,
nous sommes équipé d'un ESEM Quanta 200 depuis peu et nous voudrions savoir s'il existe des tables ou méthodes pour évaluer le diamètre du faisceau primaire arrivant à la surface de nos échantillon pour chaque spot size (de 1 à 7)?
Merci d'avance
Claire ARNOULT
CRP Henri Tudor - Laboratoire de Technologies Industrielles - Luxembourg

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La mesure la plus intuitive consiste à enregistrer un profil ligne perpendiculairement à l' interface abrupte de deux matériaux de composition différente.
Vous pouvez enregistrer soit le changement d'émission secondaire soit la variation de l'intensité X d'une radiation caractéristique de l'un des deux matériaux.
En effet et encore plus qu'en MEB normal, la taille du faisceau primaire dépend de vos conditions expérimentales spécifiques et l'utilisation de tables parait illusoire.
(réponse de J. Cazaux - jacques.cazaux@wanadoo.fr)

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A titre indicatif, table intensité / taille de sonde à télécharger pour un XL 30 FEG

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