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étalons de calibration pour la rugosité

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archives:
18-03-2014
Bonjour
Je travaille sur le logiciel 3DSM de Zeiss, et je voulais vérifier les valeurs de rugosité données par le logiciel
Existe-t-il des étalons de calibration pour la rugosité (échelle micrométrique) ?
Merci d’avance
Mathilde PONS
CEA/MAR

mr:
pas à ma connaissance...
(réponse de F. Brisset)

mr:
Je suis également équipé du logiciel 3DSM de ZEISS.
Il est en effet nécessaire de disposer d'un étalon altimétrique.
Deux solutions:
- on se le fait soi-même: Par exemple une empreinte de microdureté que l'on caractérise par AFM (à condition d'en disposer, ou de connaître un labo pour le faire)
- Acheter l'échantillon de calibration que je crois peux proposer ZEISS (coût ?)
(réponse de D. Boivin)

Nicolas Stephant:
Bonjour,

Vous trouverez probablement ce genre d'échantillons auprès du laboratoire national de métrologie et d'essais (www.lne.fr). Une expérience menée par le club de nanométrologie est en cours pour tester les étalonnages MEB et AFM. Un échantillon calibré a été fabriqué par le LNE à cette occasion qui comprend aussi des profondeurs et pourrait donc convenir.
Nicolas Stephant

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