12-09-2011
Bonjour,
Je voudrais déterminer la composition d'une couche mince (200 nm) de TiO2 (Evap + IAD) sur or, quelles techniques utiliser ? EDS, WDS, XPS, RBS, Stratagem ?
J'ai essayé par Auger mais les problèmes de charge et autre artefact (réduction sous faisceau, pulvérisation préférentielle) font que je n'est pas confiance dans les résultats.
Quelle est la précision sur le rapport O / Ti que l'on peut espérer obtenir ?
Frederic WYCZISK
Thales Research & Technology, Palaiseau