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Messages - Nicolas Stephant

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Bonjour,

L'image prise avec le détecteur In-Lens rend mieux compte des informations à la surface de l'échantillon et c'est bien là le génie de ce type de détecteur. On aperçoit par exemple la trace d'une légère contamination laissée par le faisceau sur une partie de l'échantillon observée précédemment avec un grandissement plus fort. Les traces noires sont donc très probablement un dépôt peu épais et/ou de faible numéro atomique moyen. Les secondaires renvoyés par ses particules doivent être de faible énergie et peu nombreux comparés à ceux produits par le matériau situé au-dessous. Ceci en considérant la forte tension d'accélération utilisée qui irradie l'échantillon en profondeur. Le détecteur In-Lens a été conçu pour "pomper" très efficacement les secondaires de faible énergie et il y réussit ici alors que l'autre détecteur est complètement aveugle dans cette gamme d'énergie des secondaires (il est situé trop loin). La situation serait peut-être différente avec une tension plus faible.
Pour ma part, j'aurais envie d'observer cet échantillon à faible tension, avec le détecteur In-Lens et à une distance de travail plus faible. Qui sait si d'autres détails de surface ne seraient pas révélés ?

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Bonjour,

J'essaierais d'y parvenir en utilisant le logiciel Stratagem. Je choisirais de faire des acquisitions à 5KV, 10KV et 15KV. Pour une couche de TiO2 de 200nm la première tension devrait permettre d'analyser presque uniquement la 1ère couche et les deux suivantes donneront aussi des informations sur la couche d'or.
Auparavant il serait bon de faire une mesure d'épaisseur de la couche si celle-ci n'est pas connue de manière précise, à moins que la densité réelle de la couche ne soit connue. En effet l'un de ces deux paramètres doit être connu avec précision pour obtenir un résultat fiable. La connaissance de l'un permet d'ailleurs d'obtenir l'autre.
Evidemment cette méthode suppose l'acquisition de standards fiables pour les trois éléments chimiques en jeu.
Attention de déclarer l'existence de la couche de métallisation (carbone de préférence) et son épaisseur si elle est connue car le dosage de l'oxygène y est sensible.
Le logiciel Stratagem permet de choisir les raies des éléments utilisés: La raie M de l'or semble judicieuse pour les trois tensions et la raie K du titane pour 10 et 15KV mais il faudra utiliser la raie L pour 5KV.


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Je me demande si l'éthanol ne pourrait pas être un agent contaminant dans un cas où l'on souhaite éviter le carbone à la surface de l'échantillon.
D'après mon expérience l'efficacité de l'Evactron dépend beaucoup de l'orientation de la zone à nettoyer par rapport au plasma et de sa distance à la source. Les réglages en temps et en puissance sont donc assez variables en fonction des configurations. Nous avons modifié le sas de notre JEOL 7600F pour y placer notre Evactron de manière à ne pas dégrader le vide dans la chambre lors d'opérations de nettoyage répétées (ce qui favorise les rétrodiffusions d'huile quand le système de pompage n'est pas "propre"). Cette méthode fonctionne bien dès lors que la tête plasma a été placée au ras de la paroi du sas (Le constructeur nous avait conseillé une distance de 15cm). L'adaptation de la séquence de vide dans le sas n'a posée aucun problème et le nettoyage peut se faire en même temps que le pompage dans le sas.
Concernant l'étuvage comme méthode de décontamination c'est un vieux "truc" de démonstrateur chez les fabriquants que de placer un échantillon sur la partie chauffante de la pompe à diffusion pour le décontaminer. Ca fonctionne assez bien si l'échantillon ne craint pas la chaleur et plus d'un appareil a été vendu grâce à cette méthode.
Concernant les effets sur les fenêtres minces tout les retours que j'ai pu avoir jusqu'à présent disent que la fenêtre tiendra le coup très longtemps et c'est aussi ce que j'ai entendu aux journées de formation du Gn-MEBA.
Nicolas Stephant

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Mesures, imagerie 3D / Re : étalons de calibration pour la rugosité
« le: septembre 23, 2014, 11:14:11 am »
Bonjour,

Vous trouverez probablement ce genre d'échantillons auprès du laboratoire national de métrologie et d'essais (www.lne.fr). Une expérience menée par le club de nanométrologie est en cours pour tester les étalonnages MEB et AFM. Un échantillon calibré a été fabriqué par le LNE à cette occasion qui comprend aussi des profondeurs et pourrait donc convenir.
Nicolas Stephant

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