Auteur Sujet: mesure de rugosité en MEB?  (Lu 5756 fois)

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mesure de rugosité en MEB?
« le: mars 25, 2014, 07:17:19 am »
29-11-2005
Est-il possible de mesurer une rugosité à partir des contrastes d'une image MEB (SE2 ou IL) ?
merci
Valette Audrey- CNRS, CECM

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Re : mesure de rugosité en MEB?
« Réponse #1 le: mars 25, 2014, 07:17:52 am »
Il n'est pas possible de mesurer une rugosité à partir d'une image MEB, mais cela est possible à partir de deux images obtenues avec des inclinaisons différentes.
Il faut garder un détail fixe au centre de l'écran (de préférence) pour les deux inclinaisons et garder la même mise au point pour les deux vues sans retoucher au réglage de la focalisation de la lentille objectif, mais en retrouvant la deuxième mise au point en déplaçant le z de la platine porte objet.
Cette procédure est simplifiée si vous possédez une platine eucentrique qui permet d'obtenir les même réglages plus facilement. Après je vous conseille de dépouiller vos deux images avec un des deux logiciels commercialisés soit par SAMx soit par Alprimage, qui vous permettront, outre une représentation 3D, d'effectuer des mesures et donc la rugosité.
(F. Grillon - ENSMP)

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Re : mesure de rugosité en MEB?
« Réponse #2 le: mars 25, 2014, 07:18:30 am »
C'est normalement possible en faisant l'acquisition d'images stéréos et en utilisant ensuite un logiciel spécifique, par exemple le logiciel MEX Alicona commercialisé par la société Alprimage (P. Rolland, mailto:prolland@alprimage.com, http://www.alprimage.com/produits/mex.html).
(R. Chiron - CNRS - LPMTM)

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Re : mesure de rugosité en MEB?
« Réponse #3 le: mars 25, 2014, 07:19:01 am »
Il est bon de préciser que les mesures topographiques par stéréoscopie au MEB résultent de mesures de la disparité, qui est le déplacement de chaque point d'une image à l'autre de la paire stéréo. Ce déplacement est mesuré en pixels, puis converti en microns en tenant compte du grandissement et du nombre de pixels dans l'image.
Pour un point donné, la disparité est d'autant plus importante que l'altitude (par rapport au centre d'inclinaison de l'échantillon) est grande, et que l'écart angulaire entre les 2 images est grand. Il va de soi que la disparité maximale (et donc l'élévation) que l'on peut mesurer ne peut être qu'une fraction de la dimension du champ. La mesure de fortes rugosités imposera donc de balayer de grands champs (au moins trois fois plus grands que la rugosité pour avoir de bons résultats). Au contraire, on ne pourra mesurer correctement de très faibles dénivellations que sur des champs de petite taille, c'est-à-dire à fort grandissement.
Dans tous les cas, il ne faut pas oublier que la technique de reconstruction 3D utilisée repose sur des algorithmes de corrélation.
C'est pourquoi elle ne peut fonctionner correctement que s'il y a dans les images quelque chose à corréler ! En d'autres termes, les "bonnes" images sont celles qui comportent partout des détails fins sur lesquels la corrélation peut aisément "s'accrocher". Au contraire, les images comportant de larges domaines uniformes donneront une reconstruction 3D de mauvaise qualité (ou biaisée si des procédures de lissage ou d'interpolation sont mises en œuvre).
(Jean-Louis POUCHOU -ONERA, Châtillon, co-auteur du logiciel 3D_TOPx distribué par SAMx)