Tout d'abord, désolé de vous décevoir, mais un microscope électronique à balayage n'a jamais été considéré comme un instrument de métrologie !
Certains microscopes (qui sont plus des robots) utilisés dans le domaine des semi-conducteurs sont spécifiquement conçus dans ce but (mesure de dimensions critiques).
Le premier problème que nous rencontrons est que le faisceau, lorsqu'il balaye la surface de balayage, pivote au niveau des bobines de balayage, ce qui provoque des distorsions qui n'existeraient pas avec un faisceau parallèle.
Le deuxième problème est le relief de l'échantillon : nous formons une projection sur un plan d'objets en trois dimensions, ce qui est d'autant plus sensible en cas de forte topographie. Les modifications de projection sont d'ailleurs utilisées pour reconstituer une topographie 3D à partir de différentes inclinaisons de platine porte objet.
Le troisième problème est le calibrage du microscope. Vous pourrez trouver de bonnes indications dans la norme NF ISO 16700 (publiée en 2004, résultat des travaux du comité technique international 202, avec la contribution du comité X21A de l'AFNOR) qui donne les lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image (en se référant à des matériaux de référence certifiés). Mais ce n'est vraiment pas simple : si vous considérez que vous êtes en train de balayer une certaine surface, l'amplitude de balayage devra être modifiée pour conserver le même grandissement si vous modifiez la tension d'accélération, la distance de travail, etc. La correction de ces derniers paramètres dépend de la qualité de l'étalonnage inclus dans le logiciel de pilotage du microscope.
En règle générale, les incertitudes sont plus grandes à faible grandissement, à faible tension d'accélération et/ou à distance de travail élevée.
En dépit de tout ceci, comme de nombreux autres, il m'arrive d'effectuer des mesures sur les microscopes ! Je réserve ce type de mesure aux échantillons plans polis, très très peu attaqués, en introduisant un réseau croisé de référence simultanément. Les mesures sont effectuées par comparaison avec l'étalon dans les même conditions. Tout autre comportement induit des erreurs difficilement quantifiables.
(réponse de F. Grillon - ENSMP)

03-07-2007
Bonjour,
Nous souhaitons mettre en place l’ISO 9001 au sein de notre laboratoire. A ce titre, quelqu’un pourrait-il m’aider concernant la métrologie pour un MEB.
Merci d’avance
Hélène LECOQ - CREATE

14-02-2006
Comment faut-il préparer des échantillons pour être visionnés au MEB dans le but d'une reconstruction 3D ?
Est-il préférable de casser l'échantillon ou de le couper puis le polir avant la métallisation ?
Fabien DUCAT

C'est normalement possible en faisant l'acquisition d'images stéréos et en utilisant ensuite un logiciel spécifique, par exemple le logiciel MEX Alicona commercialisé par la société Alprimage (P. Rolland, mailto:prolland@alprimage.com, http://www.alprimage.com/produits/mex.html).
(R. Chiron - CNRS - LPMTM)

29-11-2005
Est-il possible de mesurer une rugosité à partir des contrastes d'une image MEB (SE2 ou IL) ?
merci
Valette Audrey- CNRS, CECM

8-06-2006
Je suis un nouveau utilisateur de MEB, je travaille sur l'effet de charge sur un composite contenant différents taux d'humidité. y a t-il des précautions à tenir compte avant de réaliser l'essai courant de masse et l'effet miroir? (l'eau est un milieu dipolaire)
Pour la réalisation de l'effet miroir et le courant de masse, y a-t-il une influence de l'épaisseur de l'échantillon sur les résultats? ( je travaille sur des composites à matrice polymère)
BEN BRAHIM Hamdi

L’expert français en la matière est Guy Blaise (blaise@lps.u-psud.fr), il a plus de 30 ans d’expérience dans ce domaine. S’intéresse également aux isolants Jacques Cazaux (cazaux@univ-reims.fr)
(F. Grillon - ENSMP)