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Généralités sur l'imagerie MEB / Re : Comparaison détecteur dans la chambre et détecteur In-Lens
« le: septembre 23, 2015, 12:15:03 pm »
Bonjour,
L'image prise avec le détecteur In-Lens rend mieux compte des informations à la surface de l'échantillon et c'est bien là le génie de ce type de détecteur. On aperçoit par exemple la trace d'une légère contamination laissée par le faisceau sur une partie de l'échantillon observée précédemment avec un grandissement plus fort. Les traces noires sont donc très probablement un dépôt peu épais et/ou de faible numéro atomique moyen. Les secondaires renvoyés par ses particules doivent être de faible énergie et peu nombreux comparés à ceux produits par le matériau situé au-dessous. Ceci en considérant la forte tension d'accélération utilisée qui irradie l'échantillon en profondeur. Le détecteur In-Lens a été conçu pour "pomper" très efficacement les secondaires de faible énergie et il y réussit ici alors que l'autre détecteur est complètement aveugle dans cette gamme d'énergie des secondaires (il est situé trop loin). La situation serait peut-être différente avec une tension plus faible.
Pour ma part, j'aurais envie d'observer cet échantillon à faible tension, avec le détecteur In-Lens et à une distance de travail plus faible. Qui sait si d'autres détails de surface ne seraient pas révélés ?
L'image prise avec le détecteur In-Lens rend mieux compte des informations à la surface de l'échantillon et c'est bien là le génie de ce type de détecteur. On aperçoit par exemple la trace d'une légère contamination laissée par le faisceau sur une partie de l'échantillon observée précédemment avec un grandissement plus fort. Les traces noires sont donc très probablement un dépôt peu épais et/ou de faible numéro atomique moyen. Les secondaires renvoyés par ses particules doivent être de faible énergie et peu nombreux comparés à ceux produits par le matériau situé au-dessous. Ceci en considérant la forte tension d'accélération utilisée qui irradie l'échantillon en profondeur. Le détecteur In-Lens a été conçu pour "pomper" très efficacement les secondaires de faible énergie et il y réussit ici alors que l'autre détecteur est complètement aveugle dans cette gamme d'énergie des secondaires (il est situé trop loin). La situation serait peut-être différente avec une tension plus faible.
Pour ma part, j'aurais envie d'observer cet échantillon à faible tension, avec le détecteur In-Lens et à une distance de travail plus faible. Qui sait si d'autres détails de surface ne seraient pas révélés ?