Bonjour,
J'utilise un supra40 (FEG) avec edx (sdd 50mm²) et logiciel aztek. Je voudrais estimer l'épaisseur d'une couche mince (20nm de cu sur waffer silicium) suivant mes analyses EDS (%ato, variation EHT etc...)
Stratagem est il un logiciel payant? GMR film peut il être un biais?
Existe t il des tutoriels pour l'un comme pour l'autre afin de répondre à cette problématique
Merci d'avance et bonnes fêtes à tous
JF