Nous travaillons avec un MEB FEG supra 40. Avant d'introduire les échantillons métalliques dans la chambre nous les rinçons à l'éthanol et les séchons soigneusement. Malgré tout des fenêtres de contamination (noires) se forment souvent (travail à 20Kv et fort courant pour EBSD par exemple). Nous envisageons d’acquérir une étuve et d'y mettre nos échantillons à dégazer pendant un certain temps avant de les introduire dans la chambre du MEB. Est-ce que ce protocole est déjà utilisé? Avez-vous des indications à nous apporter concernant la température idéale et le temps de maintien?
D'autre part, ce MEB est équipé d'un EVACTRON. Nous ne l'utilisons pas systématiquement pour décontaminer la chambre car nous avons un SAS. Néanmoins nous avons remarqué que lorsque nous faisons plus de 7min de plasma, la surface des échantillons est bien décontaminée (pour des temps inférieurs, peu de résultat!). avez-vous des informations sur les ajustements des paramètres du système? Est-ce que de l'utiliser systématiquement ne nuit pas aux détecteurs EDs et EBSD présents dans la chambre?
Suzanne CEMEF