24-05-2008
Bonjour,
Nous allons nous équiper d'un nouveau MEB. Nous nous posons des questions sur le choix du système de pompage. Sur ce microscope, nous souhaiterions limiter au maximum la contamination dans la chambre. Selon Jéol, qui installe en standard des pompes à diffusion d'huile sur ses microscopes, les contaminations de la chambre par les huiles de pompes proviennent exclusivement de la pompe à palette et pas du tout de la pompe à diffusion. Selon Zeiss, qui installe en standard des pompes turbo-moléculaires, les pompes à diffusion d'huiles conduisent bien à une contamination de la chambre... Qui faut-il croire ? Une solution pompe primaire sèche + pompe à diffusion d'huile présente-t-elle un intérêt ?
Merci de votre aide.
Frédéric CHRISTIEN
Département Sciences des Matériaux - Polytech'Nantes - Université de Nantes