Auteur Sujet: déterminer la composition d'une couche mince  (Lu 4368 fois)

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déterminer la composition d'une couche mince
« le: mars 23, 2014, 06:29:40 pm »
12-09-2011
Bonjour,
Je voudrais déterminer la composition d'une couche mince (200 nm) de TiO2 (Evap + IAD) sur or, quelles techniques utiliser ? EDS, WDS, XPS, RBS, Stratagem ?
J'ai essayé par Auger mais les problèmes de charge et autre artefact (réduction sous faisceau, pulvérisation préférentielle) font que je n'est pas confiance dans les résultats.
Quelle est la précision sur le rapport O / Ti que l'on peut espérer obtenir ?

Frederic WYCZISK
Thales Research & Technology, Palaiseau

Nicolas Stephant

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Re : déterminer la composition d'une couche mince
« Réponse #1 le: février 24, 2015, 03:29:34 pm »
Bonjour,

J'essaierais d'y parvenir en utilisant le logiciel Stratagem. Je choisirais de faire des acquisitions à 5KV, 10KV et 15KV. Pour une couche de TiO2 de 200nm la première tension devrait permettre d'analyser presque uniquement la 1ère couche et les deux suivantes donneront aussi des informations sur la couche d'or.
Auparavant il serait bon de faire une mesure d'épaisseur de la couche si celle-ci n'est pas connue de manière précise, à moins que la densité réelle de la couche ne soit connue. En effet l'un de ces deux paramètres doit être connu avec précision pour obtenir un résultat fiable. La connaissance de l'un permet d'ailleurs d'obtenir l'autre.
Evidemment cette méthode suppose l'acquisition de standards fiables pour les trois éléments chimiques en jeu.
Attention de déclarer l'existence de la couche de métallisation (carbone de préférence) et son épaisseur si elle est connue car le dosage de l'oxygène y est sensible.
Le logiciel Stratagem permet de choisir les raies des éléments utilisés: La raie M de l'or semble judicieuse pour les trois tensions et la raie K du titane pour 10 et 15KV mais il faudra utiliser la raie L pour 5KV.