Microanalyse X et EBSD > Mesures d'épaisseurs de stratifiés, de couches minces

STRATAGEM

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juliencitra87:
Bonjour,

J'utilise un supra40 (FEG) avec edx (sdd 50mm²) et logiciel aztek. Je voudrais estimer l'épaisseur d'une couche mince (20nm de cu sur waffer silicium)  suivant mes analyses  EDS (%ato, variation EHT etc...)
Stratagem est il un logiciel payant? GMR film peut il être un biais?
Existe t il des tutoriels pour l'un comme pour l'autre afin de répondre à cette problématique


Merci d'avance et bonnes fêtes à tous

JF

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