Auteur Sujet: diamètre du faisceau primaire  (Lu 3402 fois)

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diamètre du faisceau primaire
« le: mars 25, 2014, 07:51:45 am »
18-07-2007
Bonjour,
nous sommes équipé d'un ESEM Quanta 200 depuis peu et nous voudrions savoir s'il existe des tables ou méthodes pour évaluer le diamètre du faisceau primaire arrivant à la surface de nos échantillon pour chaque spot size (de 1 à 7)?
Merci d'avance
Claire ARNOULT
CRP Henri Tudor - Laboratoire de Technologies Industrielles - Luxembourg

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Re : diamètre du faisceau primaire
« Réponse #1 le: mars 25, 2014, 07:52:39 am »
La mesure la plus intuitive consiste à enregistrer un profil ligne perpendiculairement à l' interface abrupte de deux matériaux de composition différente.
Vous pouvez enregistrer soit le changement d'émission secondaire soit la variation de l'intensité X d'une radiation caractéristique de l'un des deux matériaux.
En effet et encore plus qu'en MEB normal, la taille du faisceau primaire dépend de vos conditions expérimentales spécifiques et l'utilisation de tables parait illusoire.
(réponse de J. Cazaux - jacques.cazaux@wanadoo.fr)

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Re : diamètre du faisceau primaire
« Réponse #2 le: mars 25, 2014, 07:57:13 am »
A titre indicatif, table intensité / taille de sonde à télécharger pour un XL 30 FEG