Auteur Sujet: position eucentrique sur un MEB  (Lu 5043 fois)

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position eucentrique sur un MEB
« le: mars 25, 2014, 07:59:00 am »
12-02-2007
Bonjour,
Que signifie la position eucentrique sur un MEB? comment la régler.
Merci d'avance
Virginie.BRETHENOUX - CEA

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Re : position eucentrique sur un MEB
« Réponse #1 le: mars 25, 2014, 07:59:32 am »
La position eucentrique signifie que lorsque vous inclinez votre échantillon, par exemple pour réaliser une acquisition EBSD à 70° d’inclinaison, la zone d’intérêt observée sur l’écran du MEB ne se déplace pas pendant l’opération ; en clair, l’axe d’inclinaison doit donc être concourant à l’axe du faisceau (il lui est aussi perpendiculaire) et le point de concours doit être situé au centre de la zone observée (si la surface de l’échantillon est plane et parallèle au plan X-Y de la platine, l’axe d’inclinaison est situé dans le plan de la surface).
Le réglage est possible sur certaines platines de MEB dites eucentriques.
Il s’agit le plus souvent d’un réglage approximatif réalisé au moment de la fixation de l’échantillon sur la platine du MEB ; le positionnement se fait grâce à un porte-échantillon adapté ou à des jeux de cales, ce qui permet d’approcher au mieux la position idéale ; même si le réglage d’eucentricité n’est pas parfait, les platines des MEBs récents disposent souvent de la possibilité de conserver sur l’écran la zone observée grâce à un rattrapage logiciel.
Quelques rares platines, dont les platines optionnelles des anciens MEBs S360 et S440 (ZEISS), sont totalement eucentriques, c.a.d. qu’elles disposent d’un réglage fin Z’ de la position de l’échantillon qui permet d’affiner mécaniquement le réglage d’eucentricité pendant l’opération d’inclinaison de l’échantillon; contrairement à l’axe Z de la platine qui est parallèle à l’axe du faisceau et qui permet de changer la distance de travail, l’axe Z’ reste toujours perpendiculaire au plan X-Y de la platine.

La procédure de réglage consiste à positionner un détail au centre de l’écran d’observation et, au fur et à mesure que l’on incline l’échantillon, à modifier Z’ pour ramener le détail au centre; le changement de distance de travail induit par la modification de Z’ est compensé par un réglage de Z.
(Rémi CHIRON, CNRS - LPMTM)

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Re : position eucentrique sur un MEB
« Réponse #2 le: mars 25, 2014, 08:00:31 am »
Pour pouvoir régler la position eucentrique, cela suppose de disposer d'une platine porte-objet eucentrique. La conception d'une telle platine doit être telle que, pour une distance de travail donnée, il est possible de régler le z de l'échantillon de sorte que son altitude se trouve en coïncidence avec l'axe d'inclinaison de la platine.
Le réglage consiste à placer l'échantillon à la distance de travail nominale, à faire la mise au point sur un détail au centre de l'écran, puis à incliner la platine. Vraissemblablement cette inclinaison provoquera un déplacement de la zone observée à l'écran. Il convient alors de replacer le détail précédent au centre de l'écran en ne règlant que le z mécanique de la platine. Il faut alors revenir à plat et refaire la mise au point grâce à la focalisation de la lentille objectif. Renouveler cet ensemble d'opérations (inclinaison, réglage du z, remise à plat et mise au point) autant de fois que nécessaire pour obtenir que le détail observé reste au centre de l'écran quelle que soit l'inclinaison de la platine.
Une platine mécaniquement eucentrique représente un coût non négligeable, aussi de nombreux appareils ne disposent que d'une platine goniométrique. Dans ce cas, les constructeurs proposent souvent un logiciel permettant d'obtenir une pseudo-eucentricité par calcul (ce ne fait appel qu'à de la trigonométrie de bas). La précision obtenue est en général moins bonne qu'avec une platine mécaniquement eucentrique, mais est souvent suffisante.
(F. Grillon - ENSMP)