Auteur Sujet: Comparaison détecteur dans la chambre et détecteur In-Lens  (Lu 2039 fois)

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oknoy

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Comparaison détecteur dans la chambre et détecteur In-Lens
« le: avril 30, 2015, 02:33:03 pm »
Bonjour à tous,

J'aurais besoin d'aide concernant l'interprétation d'images MEB.

Voici 2 images MEB d'un dépôt sur une nacelle en platine, prise en secondaires d'une part avec un détecteur secondaire dans la chambre pour la première (ATG3.tif), puis avec un détecteur In-Lens pour la 2ème (ATG4.tif). Ces images ont été prises au même grandissement, à tension et distance de travail identique (15 kV et WD 14mm), et à intervalle très faible l'une de l'autre (qques secondes)

On voit apparaître sur l'image prise avec le détecteur In-Lens des tâches noires, que l'on ne retrouve pas avec le détecteur dans la chambre. Pourquoi ? Quelqu'un pourrait-il m'éclairer sur l'origine de ces tâches ? Pourquoi ne les distingue-t-on qu'avec le détecteur In-Lens ?

Je précise à toutes fins utilesque je travaille avec un MEB SEM-FEG, vide primaire pompe palettes et secondaire à pompe à diffusion.

Merci pour votre aide.

Cordialement,
Y.G.

Fabrice Gaslain

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Re : Comparaison détecteur dans la chambre et détecteur In-Lens
« Réponse #1 le: mai 16, 2015, 06:31:34 pm »
Pourriez vous nous donner le type de machine, le nom exact des détecteurs et. Il y'a surement une explication, mais il manque des infos.
D'avance merci,

Fabrice Gaslain

Nicolas Stephant

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Re : Comparaison détecteur dans la chambre et détecteur In-Lens
« Réponse #2 le: septembre 23, 2015, 12:15:03 pm »
Bonjour,

L'image prise avec le détecteur In-Lens rend mieux compte des informations à la surface de l'échantillon et c'est bien là le génie de ce type de détecteur. On aperçoit par exemple la trace d'une légère contamination laissée par le faisceau sur une partie de l'échantillon observée précédemment avec un grandissement plus fort. Les traces noires sont donc très probablement un dépôt peu épais et/ou de faible numéro atomique moyen. Les secondaires renvoyés par ses particules doivent être de faible énergie et peu nombreux comparés à ceux produits par le matériau situé au-dessous. Ceci en considérant la forte tension d'accélération utilisée qui irradie l'échantillon en profondeur. Le détecteur In-Lens a été conçu pour "pomper" très efficacement les secondaires de faible énergie et il y réussit ici alors que l'autre détecteur est complètement aveugle dans cette gamme d'énergie des secondaires (il est situé trop loin). La situation serait peut-être différente avec une tension plus faible.
Pour ma part, j'aurais envie d'observer cet échantillon à faible tension, avec le détecteur In-Lens et à une distance de travail plus faible. Qui sait si d'autres détails de surface ne seraient pas révélés ?

Francois

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Re : Comparaison détecteur dans la chambre et détecteur In-Lens
« Réponse #3 le: février 15, 2016, 12:14:59 pm »
Bonjour,

Probablement un peu tard.
Mais il s'agit probablement comme suggéré précédemment de dépôts contaminant de surface.

Francois