Auteur Sujet: mesure optique de l'epaisseur de couches minces  (Lu 1988 fois)

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mesure optique de l'epaisseur de couches minces
« le: mars 23, 2014, 06:24:54 pm »
24-04-2006
bonjour tout le monde, je cherche la procedure de la mesure de l'épaisseur des couches minces optique
ASMAA

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Re : mesure d'epaisseur de couches minces
« Réponse #1 le: mars 23, 2014, 06:25:44 pm »
Pour une mesure optique de l'epaisseur de couches minces, regardez du côté de l'ellipsométrie.
On peut mesurer la composition et l'epaisseur d'une couche par microanalyse X en utilisant les programmes de couches minces qui utilisent la fonction de repartition de l'emission X (PhiRhoZ).
(F. Grillon - ENSMP)