Imagerie de matrices d'alumine nanoporeuse supportées,
Gwenaelle Jullié, IEF, Univ. Paris XI
Initialement dédiée à la protection contre la corrosion, l'anodisation de l'aluminium est maintenant considérée comme une technique bottom up de nanostructuration. Ce procédé électrochimique permet l'obtention d'un réseau de pores d'alumine présentant une organisation alvéolaire (figure 1) et un très grand facteur d'aspect ( > 1000). Par rapport aux techniques de
nanostructuration comme la lithographie électronique, une fois optimisée, cette méthode est plus simple à mettre en œuvre et moins onéreuse. En revanche, elle ne permet la réalisation que d'un seul type de motifs. Ces avantages ont amené différents laboratoires de micro-nanotechnologies à adapter ce procédé, initialement développé à partir de monocristaux d'aluminium, aux couches minces d'aluminium. Ces dernières, élaborées sur substrat, permettent l'intégration de l'anodisation dans un procédé complet de microfabrication, comme dans la réalisation de nanofils. C'est dans cette optique que nous développons ce procédé sur des substrats de silicium oxydé (intégration) et sur des substrats de silice (mesures optiques en transmission). La caractérisation par microscopie électronique à balayage des matrices poreuses sur silice est rendue difficile par l'aspect isolant des matériaux (alumine, silice) associé aux dimensions nanométriques des motifs.
Nous présenterons les résultats obtenus lors de l'observation de ce type d'échantillon sur l'équipement FEI XL30S (microscope électronique à effet de champ) dont dispose la Centrale de Technologie Universitaire MINERVE de l'Institut d'Electronique Fondamentale
