Formation de précipités d'argent après recuit à l'air de films minces à base d'oxydes

J.F. PIERSON*, C. Petitjean, C. Clément-Gendarme et D. Horwat

Institut Jean Lamour (UMR CNRS 7198), Département CP2S, Ecole des Minces, Nancy Université, Parc de Saurupt, CS 14234, 54042 Nancy cedex, France
* Tel: 33 3 83 58 43 42, e-mail: jean-francois.pierson@mines.inpl-nancy.fr

L'oxyde d'argent (Ag2O) est connu pour se décomposer dans l'air en argent métallique et en oxygène à des températures voisines de 200 °C. L'addition d'un autre élément métallique, dont l'oxyde est plus stable, permet d'augmenter le domaine de stabilité de l'oxyde d'argent. Néanmoins, cette décomposition se produit à des températures plus élevées et permet de donner lieu à la formation de précipités d'argent de taille contrôlable (de quelques centaines de nanomètres à quelques centaines de micromètres) sur des surfaces d'oxydes.
Des films à base d'oxyde d'argent ont été élaborés sur des substrats en verre par pulvérisation magnétron réactive puis recuits dans l'air à des températures comprises entre 100 et 550 °C. La composition des films a été évaluée par EDS et ces résultats ont été comparés avec ceux obtenus par RBS et par microsonde de Castaing. La morphologie des revêtements bruts de dépôts et recuits a été observée par microscopie électronique à balayage. Au cours de cette présentation nous détaillerons l'influence de l'addition de cuivre et/ou de manganèse sur la formation de précipités d'argent.