Lithographie électronique : principe et application aux nanostructures magnétiques

François MONTAIGNE

Institut Jean Lamour, Nancy

Cet exposé présentera les principes généraux de la lithographie électronique en abordant successivement :

• L'intérêt de la lithographie électronique comme méthode de nanofabrication
• Les résines électrosensibles et leur mise en œuvre
• Les interactions électrons/résine et les effets de proximité
• Les différents systèmes de lithographie électronique et la mise en œuvre d'un MEB pour la lithographie

L'exposé se conclura par quelques exemples concrets de fabrication de nanostructures magnétiques.