Mesure de contraintes locales par EBSD

Dominique LOISNARD
EDF Centre de Recherches des Renardières, Moret sur Loing

  
La technique de l'EBSD s'est grandement développée ces dernières années, l'une de ses extensions consiste à mesurer les contraintes locales au sein d'un matériau.Cette méthode, basée sur la corrélation de diagramme de Kikuchi, sera présentée ainsi que les avantages qu'elle apporte par rapport à la technique classique.

Les paramètres logiciels et expérimentaux pouvant limiter la précision de la mesure ont été testés sur du Silicium. Cette méthode a ensuite été appliquée sur un échantillon de Silicium contraint par une couche épitaxiée de Silicium-Germanium et les mesures ont été comparées à des calculs par éléments finis. Enfin, des mesures ont été effectuées sur une soudure d'alliages de Nickel.