La microscopie et les méthodes de caractérisation chimique des matériaux : utilisation complémentaire de la spectroscopie Auger haute résolution et de l'EDS

Muriel BOUTTEMY
Institut Lavoisier, Versailles

Le développement de nanotechnologie nécessite l'adaptation de méthodes de caractérisation à l'échelle spatiale de ces objets. Ainsi, le couplage de la microscopie FEG et de la spectroscopie nano-Auger, permettant d'accéder à la composition de surface (profondeur sondée de l'ordre de 3 nm), représente un atout indéniable pour relever un tel challenge.

La spectroscopie EDS, moins localisée mais dont la profondeur d'analyse s'étend jusqu'à 2 µm, apporte quant à elle des renseignements supplémentaires sur les évolutions de composition en volume. Nous présenterons des exemples concrets afin d'illustrer l'apport et la complémentarité de ces techniques.