Les potentialités de la nano-EBIC

Michel TROYON
Laboratoire de Microscopie Electronique et Tunnel, Université de Reims

Grâce à la combinaison MEB/AFM, il est possible d'améliorer considérablement les performances en résolution de l'analyse EBIC classique. Nous illustrerons les potentialités de cette nouvelle technique que nous appelons nano-EBIC ou encore EBIC en champ proche par divers exemples : jonction p-n, boîtes quantiques InAs/GaAs, hétérostructures III-V, nanocristaux de germanium sur oxyde de silicium, etc...