Analyse WDS, EDS et EBSD en MEB analytique 

Denis BOIVIN

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La pratique de l'analyse chimique par spectrométrie WDS en MEB est désormais digne d'intérêt, grâce aux performances des nouvelles colonnes des MEBS dits analytiques, dont la spécificité est rappelée.

L'intérêt du couplage possible dans ces microscopes des diverses techniques, WDS, EDS et EBSD avec l'imagerie est illustré aux travers d'exemples d'applications issus de la caractérisation de matériaux du domaine aéronautique.