Couplage de mesures électriques et mécaniques in-situ MEB


Fabien VOLPI
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SIMAP / Phelma - Grenoble INP - BP 75 - 38 402 St Martin d'Heres Cedex
fabien.volpi@grenoble-inp.fr

La complexité croissante des structures multi-matériaux intégrées dans des dispositifs multifonctionnels nécessite le développement d'outils de caractérisation dédiés, capables de contrôler simultanément différentes grandeurs physiques avec une résolution spatiale pertinente.

Cet exposé présentera le développement et l'application d'un instrument original basé sur un nanoindenteur couplé à des mesures électriques et intégré dans un microscope électronique à balayage (MEB).

Les performances et les capacités de cet instrument seront illustrées par plusieurs études de cas :
  • la cartographie des propriétés électriques et mécaniques d’alliages métalliques,
  • la réponse piézoélectrique de structures micrométriques et
  • les défaillances électro-mécaniques d’empilements dédiés à la microélectronique.
L'accent sera mis sur les verrous techniques liés à cette intégration.



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