Haute résolution en basse tension, pression variable, EDS, WDS, EBSD et TKD - Présentation du système avec des exemples.

Andrea CAMPOS

Univ. Aix Marseille - CP2M
andrea.campos@univ-amu.fr

La résolution maximale d’un MEB dépend de plusieurs facteurs, notamment la taille du faisceau incident et le volume d’interaction du faisceau avec l’échantillon. Grâce à l’optique électronique de pointe, des résolutions de l’ordre subnanométrique sont possibles même en basse tension d'accélération des électrons.

L’objectif de cet exposé est de présenter des travaux de haute résolution en basse tension, pression variable, EDS, WDS, EBSD et TKD réalisées avec des échantillons qui ont permis d’atteindre les limites de notre système. 

Les paramètres d’acquisition utilisés ainsi que les facteurs limitants seront mis en évidence selon le domaine de recherche étudié. Dans certains cas, les résultats sont comparables avec ceux obtenus via MET, avec l’avantage de ne pas avoir de préparation préalable.