Interactions électrons-matière - Les différents détecteurs d'électrons, principes 

Ahmed ADDAD et  Alexandre FADEL
Université de Lille

La microscopie électronique à balayage est une technique d’observation permettant de caractériser la surface d’un échantillon à l’aide d’un faisceau d’électrons.

Outre le bon alignement du microscope, la qualité et les informations accessibles des images vont dépendre des signaux (SE, BSE …), produits par les interactions électrons-matière, accessibles à l’aide des différents détecteurs.

L’objectif de ces présentations est dans un premier temps de faire un rappel des signaux produits lors de ces interactions (origine et résolution latérale accessible). La deuxième partie sera quant à elle consacrée à l’apport des différents détecteurs dans la chambre et la colonne, principalement pour l’imagerie en SE et BSE. L’observation en mode STEM sera brièvement abordée.