Complémentarité des imageries MEB et MET
Frédéric FOSSARD,
Laboratoire d'Étude des Microstructures (LEM)
Unité Mixte de Recherche CNRS-ONERA, 92322 Chatillon
L'interaction des
électrons avec la matière donne lieu à de nombreux effets physiques et
par conséquent génère une grande quantité d'informations qui permettent
la caractérisation du matériau.
A ce titre, la microscopie électronique à balayage et la
microscopie électronique en transmission sont des outils de choix qui
présentent chacun leurs spécificités.
Après un rappel
sur l'origine des effets physiques ainsi que les différences entre les
deux instruments, je présenterai leurs atouts et leurs différences pour
montrer l'intérêt de croiser les données et obtenir une caractérisation
fine du matériau.