Dépôts assistés par faisceaux d'ions et d'électrons : mécanismes et aspects pratiques

Alexandra FRACZKIEWICZ
LETI, CEA, Grenoble

Les dépôts surfaciques locaux de matériaux au sein d'un MEB-FIB sont devenus un aspect incontournable de l'utilisation de ces instruments. Il peut s'agir de dépôts assistés par faisceaux d'ions ou d'électrons, à des fins, entre autres, de protection de surface, de réduction des artéfacts, ou de soudure entre deux éléments.

Cette présentation aura pour but d'expliquer les différents mécanismes qui régissent ces dépôts, d'illustrer les paramètres principaux qui permettent de les optimiser, et de fournir quelques exemples pratiques de leur utilisation.