MEB FIB plasma pour l'analyse 3D de "grands" volumes

Alexis NICOLAY
CEMEF, Mines Paris, Sophia-Antipolis

Après une rapide présentation de l'équipement du CEMEF (MEB-FIB plasma Xénon) et des possibilités offertes par cet équipement en termes de préparations et d'analyses volumiques, l'accent sera mis sur l'analyse de volumes de grandes dimensions.
Il sera notamment question de nano-tomographie FIB et d'EBSD 3D sur des volumes ayant des dimensions de l'ordre de 100 µm de côté.

Bien que le plasma FIB permette aussi de travailler à faible courant, pour l'analyse de grands volumes, il est souhaitable de travailler avec des courants FIB élevés (typiquement entre 100 et 300 nA à 30 kV) pour obtenir des durées d'analyse raisonnables. Cependant, dans ces conditions de forts courants, les artéfacts (comme le curtaining) produits lors de l'abrasion, peuvent détériorer significativement la qualité des données acquises.

En fonction des échantillons, des solutions permettent de limiter les artefacts de préparation FIB et donc d'améliorer la qualité des données collectées, tout en travaillant à courant élevé.
Un exemple détaillé sera présenté pour les superalliages base Ni.