Imagerie 3D par tomographie MEB FIB - Développements récents MEB FIB SIMS 3D

Claudie JOSSE et Teresa HUNGRIA
Centre de Microcaractérisation Raimond Castaing Toulouse

La tomographie MEB-FIB est une technique d'imagerie trimensionnelle qui combine un faisceau d'ions focalisés (FIB) avec un microscope électronique à balayage (MEB) pour obtenir des informations sur la structure interne d’échantillons solides. Elle permet d’obtenir une résolution suffisamment élevée pour visualiser des composants allant du micromètre jusqu’au nanomètre avec des volumes reconstruits pouvant atteindre plusieurs milliers de µm3.

Cette technique peut également être couplée à des systèmes analytiques, par exemple EDS-3D, EBSD-3D qui ne seront pas abordés lors de cet exposé, et SIMS-3D.
La Spectrométrie de Masse des Ions Secondaires (SIMS) est une technique de caractérisation qui permet l'analyse de la matière pulvérisée pendant la gravure FIB. Les ions secondaires formés lors de la pulvérisation sont extraits et analysés à l'aide d'un spectromètre de masse jusqu'à des niveaux à l'état de traces (inférieurs au ppm).

Lors de cet exposé, différents équipements et exemples de résultats seront présentés.