FIB 3D : applications et défis dans le domaine de la microélectronique, des énergies nouvelles et de la biologie 

Constantin MATEI
LETI, CEA, Grenoble

Le principe de cette technique est basé sur l'acquisition successive et la compilation d'images MEB afin d'obtenir un volume 3D de l'échantillon.
Le FIB génère par gravure localisée des vues transverses (cross sections) dont le pas entre deux vues peut varier de quelques nanomètres à quelques dizaines de nanomètres en fonction de la résolution recherchée.
Les images MEB sont ensuite réalignées pour obtenir un volume en 3 dimensions.

Cette technique offre également la possibilité de générer des vues orthogonales aux plans de coupes pour imager des interfaces par exemple.
Certains traitements de données peuvent donner accès à des informations sur la porosité ou sur des défauts.

Cette présentation aura pour but d’expliquer la technique, de donner quelques exemples pratiques et les défis sur des échantillons en microélectronique, dans le domaine des énergies nouvelles et de la biologie.