Fonctionnement d'un laser femtoseconde installé sur le sas d'introduction d'un MEB FIB  

David TROADEC
IEMN, Université de Lille

Depuis l’apparition des microscopes à double faisceau (MEB-FIB), les constructeurs n’ont cessé d’en améliorer les performances : courant maximum, résolution spatiale, automatisation...

L’avènement des sources d’ions plasma a ainsi apporté un gain d’un ordre de grandeur sur la valeur du courant ionique (2-3 μA) assurant une abrasion plus rapide.
Malgré tout, il n’est pas possible de graver à l’échelle millimétrique dans un temps raisonnable.

Nous verrons dans cet exposé une alternative permettant de graver à cette échelle.