Principes physiques mis en jeu au FIB, influence des conditions opératoires

Emmanuel CADEL
GPM, Université de Rouen

L'usinage par faisceau d'ions focalisés est aujourd'hui une méthode répandue de préparation d’échantillons notamment pour la microscopie électronique en transmission et la sonde atomique.

Différentes sources d'ions (Gallium, Xenon, Argon,...) permettent à l'utilisateur de façonner facilement un objet, rarement exempt de défauts, dans tout type de matériaux. Le Graal reste, encore et toujours, de réaliser un échantillon représentatif du matériau d'origine.

Après une présentation succincte des principes physiques de l'interaction ion-matière, l'influence des conditions opératoires sur la qualité des objets obtenus sera discutée : nature de l'ion incident, tension d'accélération, courant, angle d'incidence, nature de la cible, température, ...

Des exemples de préparation, à température ambiante ou en mode cryo, viendront illustrer cet exposé.