Essais micromécaniques dans un MEB-FIB

Eva HERIPRE
Laboratoire PIMM, Arts et Métiers / CNAM / CNRS, Paris

L'ajout à un MEB d'une colonne ionique, d'un micromanipulateur et d’un injecteur de gaz a permis de transformer nos microscopes en véritables micro-laboratoires de mécanique, rendant possible l’extraction et l'usinage d'échantillons de tailles micrométriques.
Ajoutez ensuite un capteur de force, trois platines de déplacement piézoélectriques, une équipe motivée avec de bonnes idées et vous pourrez solliciter mécaniquement ces échantillons.

Au travers de différentes applications, je vous montrerai les possibilités offertes par l'ensemble de ces outils afin d'analyser le comportement mécanique d'objets micrométriques. J'essaierai de mettre en avant les difficultés et astuces mises en œuvre à chacune des étapes : de l'usinage de l'échantillon jusqu'à l'essai mécanique et la mesure in-situ.