Présentation générale du MEB-FIB

Florence ROBAUT
SIMaP Grenoble INP

L’objet de cet exposé introductif est de présenter brièvement :
-    la configuration géométrique des colonnes MEB, FiB et de l’échantillon
-    le principe et l’intérêt de ce microscope double colonne
-    les éléments qui le constituent
-    ses différentes fonctionnalités