Tomographie Tribeam (MEB-FIB-Laser) : un outil pour la reconstruction 3D de microstructures  

Henry PROUDHON
Centre des Matériaux MINES Paris Evry

La microstructure contrôle l'essentiel des propriétés mécaniques des matériaux et la caractérisation tridimensionnelle de celle-ci joue un rôle de plus en plus important en microscopie.
Les techniques de caractérisation 3D ont fait des progrès considérables au cours des quinze dernières années notamment avec les techniques de tomographie qui permettent d'imager des volumes s'approchant du millimètre cube avec une résolution spatiale de l'ordre du micromètre.

Cette présentation sera principalement dédiée à la technique de l'ablation laser qui permet de reconstruire des volumes coupe par coupe.
Pour les matériaux polycristallins, la technique EBSD est compatible avec cette technique de l’ablation laser, ce qui permet d'obtenir l'orientation cristallographique et la forme des grains en 3D.
Un exemple sera présenté sur un matériau TiAl. Les résultats seront comparés à des mesures non destructives, obtenues sur le même échantillon, par tomographie aux rayons X en contraste de diffraction ce qui permettra de présenter les avantages et les inconvénients de chaque technique.