Les matériaux préparés par FIB : limitations, artefacts, autres "bizarreries" et quelques solutions  

Imène ESTEVE
IMPMC, Sorbonne Université, Jussieu Paris

Le FIB, comme toute technique de préparation, n’est pas exempte d’artéfacts.

On peut en lister quelques-uns comme l’implantation ionique, l’effet rideau dit « curtaining » ou encore l’amorphisation.

Cet exposé explicitera, du point de vue des matériaux et des technologies, les phénomènes responsables de ces artefacts tout en proposant des solutions pour les éliminer.
Enfin, il s’agit également de montrer un bestiaire de « bizarreries » ou quand le résultat escompté n’est pas au rendez-vous !