Revue historique du développement du FIB ; source d'ions à métal liquide (LMIS) 

Nicholas BLANCHARD
Institut Lumière Matière, Université Claude Bernard Lyon 1

Le développement des faisceaux d'ions focalisés a débuté quasiment en parallèle avec celui des faisceaux d'électrons focalisés.

Cependant, les instruments désignés sous le nom de FIB ont fait leur entrée dans le domaine scientifique et technologique beaucoup plus tard que les microscopes électroniques.
C'est surtout grâce aux avancées dans les sources électro-hydrodynamiques, plus communément connues sous le nom de sources d'ions à métal liquide (LMIS), notamment celles utilisant le gallium, que l'on a pu surmonter les obstacles technologiques entravant l'exploitation des faisceaux d'ions focalisés

Au cours de cette présentation, j'aborderai quelques étapes clés du développement des FIB et éclaircirai l'origine de certains termes couramment employés par ceux qui travaillent avec ces instruments.