Forum GN-MEBA
Microanalyse X et EBSD => Mesures d'épaisseurs de stratifiés, de couches minces => Discussion démarrée par: juliencitra87 le décembre 22, 2015, 05:09:23 pm
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Bonjour,
J'utilise un supra40 (FEG) avec edx (sdd 50mm²) et logiciel aztek. Je voudrais estimer l'épaisseur d'une couche mince (20nm de cu sur waffer silicium) suivant mes analyses EDS (%ato, variation EHT etc...)
Stratagem est il un logiciel payant? GMR film peut il être un biais?
Existe t il des tutoriels pour l'un comme pour l'autre afin de répondre à cette problématique
Merci d'avance et bonnes fêtes à tous
JF