Pour une mesure optique de l'epaisseur de couches minces, regardez du côté de l'ellipsométrie.
On peut mesurer la composition et l'epaisseur d'une couche par microanalyse X en utilisant les programmes de couches minces qui utilisent la fonction de repartition de l'emission X (PhiRhoZ).
(F. Grillon - ENSMP)