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« Dernier message par archives le mars 25, 2014, 07:59:32 am »
La position eucentrique signifie que lorsque vous inclinez votre échantillon, par exemple pour réaliser une acquisition EBSD à 70° d’inclinaison, la zone d’intérêt observée sur l’écran du MEB ne se déplace pas pendant l’opération ; en clair, l’axe d’inclinaison doit donc être concourant à l’axe du faisceau (il lui est aussi perpendiculaire) et le point de concours doit être situé au centre de la zone observée (si la surface de l’échantillon est plane et parallèle au plan X-Y de la platine, l’axe d’inclinaison est situé dans le plan de la surface).
Le réglage est possible sur certaines platines de MEB dites eucentriques.
Il s’agit le plus souvent d’un réglage approximatif réalisé au moment de la fixation de l’échantillon sur la platine du MEB ; le positionnement se fait grâce à un porte-échantillon adapté ou à des jeux de cales, ce qui permet d’approcher au mieux la position idéale ; même si le réglage d’eucentricité n’est pas parfait, les platines des MEBs récents disposent souvent de la possibilité de conserver sur l’écran la zone observée grâce à un rattrapage logiciel.
Quelques rares platines, dont les platines optionnelles des anciens MEBs S360 et S440 (ZEISS), sont totalement eucentriques, c.a.d. qu’elles disposent d’un réglage fin Z’ de la position de l’échantillon qui permet d’affiner mécaniquement le réglage d’eucentricité pendant l’opération d’inclinaison de l’échantillon; contrairement à l’axe Z de la platine qui est parallèle à l’axe du faisceau et qui permet de changer la distance de travail, l’axe Z’ reste toujours perpendiculaire au plan X-Y de la platine.
La procédure de réglage consiste à positionner un détail au centre de l’écran d’observation et, au fur et à mesure que l’on incline l’échantillon, à modifier Z’ pour ramener le détail au centre; le changement de distance de travail induit par la modification de Z’ est compensé par un réglage de Z.
(Rémi CHIRON, CNRS - LPMTM)