Aucun risque si votre microscope a fait l'objet d'un contrôle d'absence de fuite de rayons X à l'extérieur (à la réception et en cas de démontage complet)
(F. Grillon - ENSMP)

Comme on l'a souvent précisé, les constructeurs n'ont aucune obligation à fournir des valeurs précises des grandissements...il y a donc risque d'erreur au niveau des mesures de distances... Si on veut en faire :
- échantillon plan poli et horizontal (non incliné)
- calibration précise des grandissements utilisés (et pour les tensions utilisées) à l'aide d'étalons calibrés (et dans les 2 directions X et Y)
- vérifier les éventuelles distorsions de l'image
Alors on pourra envisager de faire des mesures...
(Réponse de J.Ruste)

Consulter la norme ISO 167
(réponse de F. Grillon - ENSMP)

Tout d'abord, désolé de vous décevoir, mais un microscope électronique à balayage n'a jamais été considéré comme un instrument de métrologie !
Certains microscopes (qui sont plus des robots) utilisés dans le domaine des semi-conducteurs sont spécifiquement conçus dans ce but (mesure de dimensions critiques).
Le premier problème que nous rencontrons est que le faisceau, lorsqu'il balaye la surface de balayage, pivote au niveau des bobines de balayage, ce qui provoque des distorsions qui n'existeraient pas avec un faisceau parallèle.
Le deuxième problème est le relief de l'échantillon : nous formons une projection sur un plan d'objets en trois dimensions, ce qui est d'autant plus sensible en cas de forte topographie. Les modifications de projection sont d'ailleurs utilisées pour reconstituer une topographie 3D à partir de différentes inclinaisons de platine porte objet.
Le troisième problème est le calibrage du microscope. Vous pourrez trouver de bonnes indications dans la norme NF ISO 16700 (publiée en 2004, résultat des travaux du comité technique international 202, avec la contribution du comité X21A de l'AFNOR) qui donne les lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image (en se référant à des matériaux de référence certifiés). Mais ce n'est vraiment pas simple : si vous considérez que vous êtes en train de balayer une certaine surface, l'amplitude de balayage devra être modifiée pour conserver le même grandissement si vous modifiez la tension d'accélération, la distance de travail, etc. La correction de ces derniers paramètres dépend de la qualité de l'étalonnage inclus dans le logiciel de pilotage du microscope.
En règle générale, les incertitudes sont plus grandes à faible grandissement, à faible tension d'accélération et/ou à distance de travail élevée.
En dépit de tout ceci, comme de nombreux autres, il m'arrive d'effectuer des mesures sur les microscopes ! Je réserve ce type de mesure aux échantillons plans polis, très très peu attaqués, en introduisant un réseau croisé de référence simultanément. Les mesures sont effectuées par comparaison avec l'étalon dans les même conditions. Tout autre comportement induit des erreurs difficilement quantifiables.
(réponse de F. Grillon - ENSMP)

03-07-2007
Bonjour,
Nous souhaitons mettre en place l’ISO 9001 au sein de notre laboratoire. A ce titre, quelqu’un pourrait-il m’aider concernant la métrologie pour un MEB.
Merci d’avance
Hélène LECOQ - CREATE