Auteur Sujet: décontamination de la surface des échantillons et EVACTRON  (Lu 5227 fois)

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suzanne.jacomet

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décontamination de la surface des échantillons et EVACTRON
« le: juillet 18, 2014, 05:34:47 pm »
Nous travaillons avec un MEB FEG supra 40. Avant d'introduire les échantillons métalliques dans la chambre nous les rinçons à l'éthanol et les séchons soigneusement. Malgré tout des fenêtres de contamination (noires) se forment souvent (travail à 20Kv et fort courant pour EBSD par exemple). Nous envisageons d’acquérir une étuve et d'y mettre nos échantillons à dégazer pendant un certain temps avant de les introduire dans la chambre du MEB. Est-ce que ce protocole est déjà utilisé? Avez-vous des indications à nous apporter concernant la température idéale et le temps de maintien?
D'autre part, ce MEB est équipé d'un EVACTRON. Nous ne l'utilisons pas systématiquement pour décontaminer la chambre car nous avons un SAS. Néanmoins nous avons remarqué que lorsque nous faisons plus de 7min de plasma, la surface des échantillons est bien décontaminée (pour des temps inférieurs, peu de résultat!). avez-vous des informations sur les ajustements des paramètres du système? Est-ce que de l'utiliser systématiquement ne nuit pas aux détecteurs EDs et EBSD présents dans la chambre?
Suzanne CEMEF

Nicolas Stephant

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Re : décontamination de la surface des échantillons et EVACTRON
« Réponse #1 le: septembre 23, 2014, 01:55:02 pm »
Je me demande si l'éthanol ne pourrait pas être un agent contaminant dans un cas où l'on souhaite éviter le carbone à la surface de l'échantillon.
D'après mon expérience l'efficacité de l'Evactron dépend beaucoup de l'orientation de la zone à nettoyer par rapport au plasma et de sa distance à la source. Les réglages en temps et en puissance sont donc assez variables en fonction des configurations. Nous avons modifié le sas de notre JEOL 7600F pour y placer notre Evactron de manière à ne pas dégrader le vide dans la chambre lors d'opérations de nettoyage répétées (ce qui favorise les rétrodiffusions d'huile quand le système de pompage n'est pas "propre"). Cette méthode fonctionne bien dès lors que la tête plasma a été placée au ras de la paroi du sas (Le constructeur nous avait conseillé une distance de 15cm). L'adaptation de la séquence de vide dans le sas n'a posée aucun problème et le nettoyage peut se faire en même temps que le pompage dans le sas.
Concernant l'étuvage comme méthode de décontamination c'est un vieux "truc" de démonstrateur chez les fabriquants que de placer un échantillon sur la partie chauffante de la pompe à diffusion pour le décontaminer. Ca fonctionne assez bien si l'échantillon ne craint pas la chaleur et plus d'un appareil a été vendu grâce à cette méthode.
Concernant les effets sur les fenêtres minces tout les retours que j'ai pu avoir jusqu'à présent disent que la fenêtre tiendra le coup très longtemps et c'est aussi ce que j'ai entendu aux journées de formation du Gn-MEBA.
Nicolas Stephant

suzanne.jacomet

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Re : décontamination de la surface des échantillons et EVACTRON
« Réponse #2 le: octobre 29, 2014, 04:13:56 pm »
Merci pour ces infos. Nous pensons aussi que le plus judicieux serait de monter l'évactron sur le SAS, et avions demandé à ZEISS d'y réfléchir lors de l'achat de notre Supra40 (en 2010), mais il n'y a pas eu de suite...
Quelqu'un a t' il déjà réalisé  (ou fait réalisé) ce montage sur un SAS ZEISS?

Francois

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Re : décontamination de la surface des échantillons et EVACTRON
« Réponse #3 le: décembre 08, 2014, 12:01:50 pm »
Bonjour Suzanne,
Je ne crois pas que de mettre les échantillons à l'étuve soit une solution.
Cela pourrait même être pire (cf. un des exposés des journées pédagogiques de décembre 2014).

Fr.