Analyse des rayonnements de faible énergie

Philippe Jonnard
Univ. Pierre et Marie Curie, CNRS

L'analyse des rayons X de faible énergie ou rayons X mous, c'est-à-dire ayant une énergie inférieure ou égale à 1000 eV peut nécessiter certaines précautions. Ce type d'analyse fait généralement suite à une analyse à faible tension (énergie des électrons incidents inférieure à 5 keV). Au niveau de l'appareillage, il est en général préférable de faire une analyse WDS plutôt qu'une analyse EDS. Ensuite, il n'est pas toujours possible de travailler avec les raies les plus intenses (Ka, La , Ma ) ou bien ces raies sont des bandes d'émission qui peuvent être sensibles à plusieurs phénomènes :
L'état chimique de l'atome émetteur qui change la forme de la bande d'émission X ;
Les satellites Coster-Kronig qui déforme la bande d'émission et augmente son intensité ;
L'auto-absorption qui rétrécit la bande d'émission et diminue son intensité.
Différents exemples couvrant tout le domaine des rayons X mous seront présentés pour illustrer ces différents points.